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第一百十章 新工艺半导体硅片测试合格（第1页）

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在有材料与设备，以及冯承铭这位光刻院士的主导下，芯片光刻过程异常迅速。五片国产硅片光刻前，需要经历清洗步骤，去除表面的灰尘、污染物与残留物。具体做法是先用湿法清洗一遍，再用去离子水清洗，最后再用六甲基二硅胺烷气体熏蒸，使硅片表面完全脱水。只有经过两道清洗步骤，一道熏蒸步骤，才能让半导体硅片达到它本身的11n纯净度，这也是光刻前的关键。别看操作的都是学生，有时候学生更能严谨操作。更别提有冯承铭监工，他们可根本不敢有半点偷懒。在熏蒸结束以后，五块半导体硅片被放入传送机器，送往光刻机内部光刻区域。冯承铭也早早换好了完）f。f

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